Mikrosensorik

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Die Mikrosensorik hat in den letzten zehn Jahren signifikante Fortschritte gemacht, was die Entwicklung neuer Sensoren mit herausragenden Parametern und innovativen Anwendungsmöglichkeiten betrifft. Dieses Lehrbuch, entstanden aus Vorlesungen an der ETH Zürich und FH Hannover, richtet sich vor allem an Studierende der Elektrotechnik sowie Ingenieure in der Praxis. Es erfordert keine speziellen Vorkenntnisse und bietet eine kompakte Einführung in relevante Technologien wie Fotolithografie. Die Inhalte sind systematisch nach Messgrößen gegliedert und umfassen sowohl grundlegende als auch fortgeschrittene Themen der Mikrosensorik.