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Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau, Manuela Klaus
- Language
- Released
- 2009
- Binding
- (Paperback)
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- Title
- Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau
- Language
- German
- Authors
- Manuela Klaus
- Publisher
- Univ.-Verl. der TU Berlin
- Released
- 2009
- Format
- Paperback
- Pages
- 117
- ISBN10
- 3798321450
- ISBN13
- 9783798321458
- Series