Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхемО. К. МокеевSold outTrack
Springer Series in Surface Sciences - 23: Surface Analysis Methods in Materials ScienceRoger S.C. SmartSold outTrack
Springer Series in Surface Sciences - 65: Kelvin Probe Force MicroscopySascha SadewasserSold outTrack
