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Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren

Authors

Thomas Klotzbücher

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Categories

University and college textbooks

Series: Berichte aus der Lasertechnik

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Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren, Thomas Klotzbücher

Language
Released: 1999

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