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Entwurf und Charakterisierung von mikromechanischen Drehratensensoren in Silizium

Authors

Stefan Günthner

Parameters

Categories

University and college textbooks

Series: Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik

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Entwurf und Charakterisierung von mikromechanischen Drehratensensoren in Silizium, Stefan Günthner

Language
Released: 2006

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