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Anwendung und Erweiterung der 3-ω-Methode zur Charakterisierung komplexer Mehrschichtsysteme in der Mikrosystemtechnik

Authors

Carsten Eric Raudzis

Parameters

Categories

University and college textbooks

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Anwendung und Erweiterung der 3-ω-Methode zur Charakterisierung komplexer Mehrschichtsysteme in der Mikrosystemtechnik, Carsten Eric Raudzis

Language
Released: 2007

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