Wolfram-Dickschichtmetallisierungen im Simultaneinbrand mit Aluminiumnitrid

Diese Arbeit hatte das Ziel, wesentliche Probleme bei der Vergesellschaftung von W mit der AlN-Keramik durch die Zusammensetzung der W-Metallisierungspaste in Kombination mit der thermischen Prozesstechnik zu lösen. Schwerpunktmäßig wurden dabei die Einflüsse der Partikelgröße von W und den Sekundärphasen auf das Sinterverhalten und den Flächenwiderstand von W-Metallisierungen untersucht. Weiterhin wurden die durch die Prozesstechnik und die Materialzusammensetzungen hervorgerufenen Fremdphasen untersucht, deren Einflüsse betrachtet und Möglichkeiten zur Verringerung aufgezeigt. Mit optimierter Prozesstechnik konnte der Aufbau von AlN-W-HTCC-Demonstratoren erfolgreich durchgeführt werden. Die Ergebnisse zeigen weiterhin, dass die Wolframkarbid-Bildung im Vergleich zur Wolframborid-Bildung nur einen geringen Einfluss auf den Flächenwiderstand der W-Metallisierung hatte. Durch grundlegende Untersuchungen an den entwickelten W-Metallisierungen in verschiedenen Sinterzuständen konnte ein Modell zum Sinterverhalten der W-Metallisierung skizziert werden. Im Gesamtergebnis zeigt die Arbeit, dass neben den verwendeten Werkstoffen weiterhin die thermische Prozesstechnik betrachtet werden muss.