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Untersuchungen zur Einsatzfähigkeit anorganischer Dielektrika als Elektretschicht in mikromechanischen Wandlern

Authors

Houman Amjadi

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Categories

University and college textbooks

Series: Berichte aus der Mikromechanik

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Untersuchungen zur Einsatzfähigkeit anorganischer Dielektrika als Elektretschicht in mikromechanischen Wandlern, Houman Amjadi

Language
Released: 1999

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