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Untersuchung und Optimierung neuartiger Plasmaverfahren zur Siliciumnitrid-Beschichtung von Silicium-Solarzellen
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Untersuchung und Optimierung neuartiger Plasmaverfahren zur Siliciumnitrid-Beschichtung von Silicium-Solarzellen, Thomas Lauinger
- Language
- Released
- 2001
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- Title
- Untersuchung und Optimierung neuartiger Plasmaverfahren zur Siliciumnitrid-Beschichtung von Silicium-Solarzellen
- Language
- German
- Authors
- Thomas Lauinger
- Publisher
- Shaker
- Released
- 2001
- ISBN10
- 3826595939
- ISBN13
- 9783826595936
- Series
- Berichte aus der Halbleitertechnik
- Category
- University and college textbooks