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Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher

Authors

Oliver Lohse

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Categories

University and college textbooks

Series: Berichte aus der Halbleitertechnik

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Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher, Oliver Lohse

Language
Released: 2001

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