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Strukturbreitenbestimmung für die sub 100nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung

Authors

Andrea Weidner

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Categories

University and college textbooks

Series: Erlanger Berichte Mikroelektronik

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Strukturbreitenbestimmung für die sub 100nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung, Andrea Weidner

Language
Released: 2005

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