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Analytische, numerische und experimentelle Untersuchungen zum chemisch-mechanischen Polieren von Siliziumwafern
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Analytische, numerische und experimentelle Untersuchungen zum chemisch-mechanischen Polieren von Siliziumwafern, Christian Ludwig
- Language
- Released
- 2013
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- Title
- Analytische, numerische und experimentelle Untersuchungen zum chemisch-mechanischen Polieren von Siliziumwafern
- Language
- German
- Authors
- Christian Ludwig
- Publisher
- Inst. für Mechanik und Fluiddynamik
- Released
- 2013
- ISBN10
- 3860124110
- ISBN13
- 9783860124116
- Series
- Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik
- Category
- University and college textbooks