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Herstellung und Charakterisierung gesputterter TiN-Schichten auf Kupferwerkstoffen, Martin Benedikt
- Language
- Released
- 1994
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- Title
- Herstellung und Charakterisierung gesputterter TiN-Schichten auf Kupferwerkstoffen
- Language
- German
- Authors
- Martin Benedikt
- Publisher
- Shaker
- Publisher
- 1994
- ISBN10
- 3861119501
- ISBN13
- 9783861119500