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Inhaltsverzeichnis1 Einleitung.2 Theoretische Grundlagen.3 Apparaturbeschreibung.4 Probensysteme und Meßablauf.5 Messungen an Oxiden im Zerstäubungsgleichgewicht.6 Tiefenprofilanalyse oxidischer Schichtsysteme.7 Zusammenfassung.Abbildungsverzeichnis.Tabellenverzeichnis.
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Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen, Dieter Lipinsky
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- 1995
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