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Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung von Hartstoffschichten unter Verwendung metallorganischer Ausgangsverbindungen
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Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung von Hartstoffschichten unter Verwendung metallorganischer Ausgangsverbindungen, Harald Berndt
- Language
- Released
- 1996
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- Title
- Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung von Hartstoffschichten unter Verwendung metallorganischer Ausgangsverbindungen
- Language
- German
- Authors
- Harald Berndt
- Publisher
- Papierflieger
- Released
- 1996
- ISBN10
- 3931986225
- ISBN13
- 9783931986223
- Category
- University and college textbooks