Untersuchungen zum Mechanismus der chemischen Gasphasenabscheidung von Diamant mit Hilfe des Hot-Filament-CVD-Verfahrens unter erzwungener Konvektion

Ein tieferes mechanistisches Verständnis der Diamantabscheidung im Hot-Filament-CVD-Verfahren ist von großer Bedeutung für die technologische Weiterentwicklung dieser kostengünstig und einfach zu realisierenden Methode. Die Anwendung von erzwungener Konvektion führt in diesem Verfahren im Vergleich zum diffusionskontrollierten Fall nicht nur zu einer Steigerung der Abscheideraten um ein Mehrfaches, sondern läßt in Verbindung mit prozeßanalytischen Methoden und Modellrechnungen auch wesentliche Aussagen über die beteiligten Prozesse am Filament und in der Gasphase zu. Untersucht werden in dieser Arbeit die Erzeugung und der Transport atomaren Wasserstoffs und der in der Gasphase erzeugten Kohlenwasserstoff-Spezies. Auf der Basis dieser experimentellen Ergebnisse werden ein- und zweidimensionale Modellrechnungen vorgenommen, die konsistente Aussagen hinsichtlich des beobachteten Depositionsverhaltens liefern.