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Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS)
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Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS), Frank Schlichting
- Language
- Released
- 2000
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- Title
- Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS)
- Language
- German
- Authors
- Frank Schlichting
- Publisher
- Köster
- Released
- 2000
- ISBN10
- 3895743720
- ISBN13
- 9783895743726
- Category
- University and college textbooks