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Es wurden Dünnschichten auf der Basis von MoO3 für die Anwendung in Metalloxid-Leitfähigkeitsensoren zur Detektion geringer Mengen toxischer oder brennbarer Gase entwickelt. Dazu wurde sowohl eine strukturelle Modifikation der MoO3-Dünnschichten als auch eine Modifikation mit gesputterten Promotorschichten vorgenommen.
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Charakterisierung und Modifikation von gassensitiven MoO3-Dünnschichten, Cuk Imawan
- Language
- Released
- 2001
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