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Aufskalierung eines gepulsten PACVD-Prozesses mittels optischer Emissionsspektroskopie
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Aufskalierung eines gepulsten PACVD-Prozesses mittels optischer Emissionsspektroskopie, Martin Eckel
- Language
- Released
- 2002
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- Title
- Aufskalierung eines gepulsten PACVD-Prozesses mittels optischer Emissionsspektroskopie
- Language
- German
- Authors
- Martin Eckel
- Publisher
- Jost-Jetter
- Released
- 2002
- ISBN10
- 3931388999
- ISBN13
- 9783931388997
- Series
- IPA-IAO-Forschung und Praxis
- Category
- University and college textbooks