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Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid
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Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid, Michael Haag
- Language
- Released
- 2003
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- (Paperback)
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- Title
- Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid
- Language
- German
- Authors
- Michael Haag
- Publisher
- Shaker***5100500
- Released
- 2003
- Format
- Paperback
- ISBN10
- 3832216324
- ISBN13
- 9783832216320
- Series
- Berichte aus der Physik
- Category
- University and college textbooks