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Einfluss der Prozessparameter auf die Depositionsbedingungen und die physikalischen Eigenschaften reaktiv abgeschiedener TiN-Schichten bei der Innenbeschichtung von Rohren mittels Ionenputtern
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Einfluss der Prozessparameter auf die Depositionsbedingungen und die physikalischen Eigenschaften reaktiv abgeschiedener TiN-Schichten bei der Innenbeschichtung von Rohren mittels Ionenputtern, Thomas Kraus
- Language
- Released
- 2004
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- Title
- Einfluss der Prozessparameter auf die Depositionsbedingungen und die physikalischen Eigenschaften reaktiv abgeschiedener TiN-Schichten bei der Innenbeschichtung von Rohren mittels Ionenputtern
- Language
- German
- Authors
- Thomas Kraus
- Publisher
- Mensch-und-Buch-Verl.
- Released
- 2004
- ISBN10
- 3898207064
- ISBN13
- 9783898207065
- Category
- University and college textbooks