The book is currently out of stock
Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar-SF6-O2-Plasmajet
Authors
Parameters
Book purchase
Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar-SF6-O2-Plasmajet, Thomas Arnold
- Language
- Released
- 2005
We’ll notify you via email once we track it down.
Payment methods
- Title
- Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar-SF6-O2-Plasmajet
- Language
- German
- Authors
- Thomas Arnold
- Publisher
- Mensch-und-Buch-Verl.
- Released
- 2005
- ISBN10
- 3898204634
- ISBN13
- 9783898204637
- Series
- Physics
- Category
- University and college textbooks