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Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
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Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren, Thomas Grund
- Language
- Released
- 2010
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- (Paperback)
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- Title
- Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
- Language
- German
- Authors
- Thomas Grund
- Publisher
- KIT Scientific Publ.
- Released
- 2010
- Format
- Paperback
- ISBN10
- 3866444966
- ISBN13
- 9783866444966
- Series
- Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
- Category
- University and college textbooks
- Description
- Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.