Entwicklung und Untersuchungen zur 3-D-Nanopositioniertechnik in großen Bewegungsbereichen

In der Dissertation wird die Entwicklung einer neuen Nanopositionier- und Nanomessmaschine NPMM-200 beschrieben. Das Gesamtsystem wird im Überblick dargestellt. Im Detail werden die Konstruktion und Realisierung des Positioniersystems behandelt. Ein Schwerpunkt der experimentellen Verifikation ist die Analyse der Leistungsfähigkeit und der Grenzen der Positioniereigenschaften dieses Messgeräts. Darüber hinaus werden erste Ergebnisse des metrologischen Nachweises anhand einer ausgewählten Messaufgabe und mehrere Anwendungsbeispiele vorgestellt. Die NPMM-200 hebt sich mit einem Messvolumen von 200 x 200 x 25 mm³ bei gleichzeitiger Messauflösung in subatomarer Größenordnung sowie einer angestrebten 3-D-Messunsicherheit von weniger als 30 nm vom derzeitigen Stand der Technik ab. Gegenwärtig existiert kein Antastsystem, das universell für die Bewältigung der Vielzahl von Messaufgaben an Mikro- und Nanostrukturen geeignet ist. Deshalb wurde die NPMM-200 für Multisensorik konzipiert.