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Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen
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Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen, Karl Paul Müller
- Language
- Released
- 1990
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- Title
- Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen
- Language
- German
- Authors
- Karl Paul Müller
- Publisher
- VDI-Verl.
- Released
- 1990
- ISBN10
- 3181400092
- ISBN13
- 9783181400098
- Category
- University and college textbooks