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Entwicklung von Technologien zur Herstellung von piezoelektrisch angeregten, mikromechanischen Resonatorstrukturen in Silizium und Quarz
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Entwicklung von Technologien zur Herstellung von piezoelektrisch angeregten, mikromechanischen Resonatorstrukturen in Silizium und Quarz, Joachim Wagner
- Language
- Released
- 1995
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- Title
- Entwicklung von Technologien zur Herstellung von piezoelektrisch angeregten, mikromechanischen Resonatorstrukturen in Silizium und Quarz
- Language
- German
- Authors
- Joachim Wagner
- Publisher
- Shaker
- Released
- 1995
- ISBN10
- 3826508777
- ISBN13
- 9783826508776
- Category
- University and college textbooks