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Computersimulation zur Anwendbarkeit des Spiegelfacettenmodells bei der Auswertung von Defektstreulichtmessungen an hillockbehafteten Aluminium-Metallisierungsschichten
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Computersimulation zur Anwendbarkeit des Spiegelfacettenmodells bei der Auswertung von Defektstreulichtmessungen an hillockbehafteten Aluminium-Metallisierungsschichten, Thomas Fröhlich
- Language
- Released
- 1994
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- Title
- Computersimulation zur Anwendbarkeit des Spiegelfacettenmodells bei der Auswertung von Defektstreulichtmessungen an hillockbehafteten Aluminium-Metallisierungsschichten
- Language
- German
- Authors
- Thomas Fröhlich
- Publisher
- [Tectum-Verl.]
- Released
- 1994
- ISBN10
- 3896087142
- ISBN13
- 9783896087140
- Category
- University and college textbooks