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Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Mikrolampen mit Hilfe der Verfahren der Oberflächenmikromechanik

Authors

Stephan Hell

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Categories

University and college textbooks

Series: Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik

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Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Mikrolampen mit Hilfe der Verfahren der Oberflächenmikromechanik, Stephan Hell

Language
Released: 1997

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