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Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie
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Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie, Franz Richter
- Language
- Released
- 1991
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- Title
- Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie
- Language
- German
- Authors
- Franz Richter
- Publisher
- Verl. der Augustinus-Buchh.
- Released
- 1991
- ISBN10
- 3860730053
- ISBN13
- 9783860730058
- Series
- Aachener Beiträge zur Lasertechnik
- Category
- University and college textbooks