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Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-Lithographie
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Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-Lithographie, Harald Groß
- Language
- Released
- 1999
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- Title
- Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-Lithographie
- Language
- German
- Authors
- Harald Groß
- Publisher
- Logos-Verl.
- Released
- 1999
- ISBN10
- 3897222213
- ISBN13
- 9783897222212
- Category
- University and college textbooks