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Oberflächenmikromechanische Sensoren für Drehbeschleunigung und magnetische Feldstärke

Authors

Harald Emmerich

Parameters

Categories

University and college textbooks

Series: Berichte aus der Mikromechanik

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Oberflächenmikromechanische Sensoren für Drehbeschleunigung und magnetische Feldstärke, Harald Emmerich

Language
Released: 2002

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