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Entwicklung und Charakterisierung eines integrierten kapazitiven Hochtemperaturdrucksensors

Authors

Klaus Kasten

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Categories

University and college textbooks

Series: Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik

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Entwicklung und Charakterisierung eines integrierten kapazitiven Hochtemperaturdrucksensors, Klaus Kasten

Language
Released: 2002

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