Gratfreies microcaving von Molybdän

Bei der Herstellung von hydrodynamischen Gleitlagern für Hochleistungsröntgenröhren werden pfeilförmig angeordnete Rillen auf den Lagerflächen benötigt. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde ein fertigungstaugliches Verfahren zum reaktiven Abtrag von Molybdän durch Laserstrahlung im Sauerstoffstrom entwickelt. Dies beinhaltete auch eine online-Prozessregelung.