Einführung in die Mikrosystemtechnik

Mit der Entwicklung der Mikrosystemtechnik haben die Vorteile der Mikroelektronik - Miniaturisierung, Integration und hohe Parallelität in der Fertigung - auch die nichtelektrische Welt erreicht. Das vorliegende Buch stellt die grundlegenden Aspekte der Mikrosystemtechnik dar. Es schlägt einen Bogen von den verwendeten Werkstoffen über die wichtigsten Fertigungsverfahren und die technologischen Methoden der Systemintegration hin zum Entwurf von Funktionskomponenten und kompletten Systemen. Über 100 Beispiele und Aufgaben helfen dem Leser, die vielfältigen Facetten der Mikrosystemtechnik erlebbar zu machen und die erworbenen Kenntnisse zu vertiefen. Das Buch basiert auf Vorlesungen an den Technischen Universitäten Dresden und Chemnitz. Es ist vor allem für Studenten geschrieben, die Mikrosystemtechnik als Haupt-, Wahl- oder Nebenfach belegen, wird aber auch Ingenieuren und Facharbeitern als Wissensspeicher und Nachschlagewerk sehr nützlich sein.