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Züchtung und Dotierung von SiC-Einkristallen mit dem modifizierten Gasphasen-Züchtungsverfahren

Authors

Ralf Müller-Terpitz

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Categories

University and college textbooks

Series: Berichte aus der Halbleitertechnik

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Züchtung und Dotierung von SiC-Einkristallen mit dem modifizierten Gasphasen-Züchtungsverfahren, Ralf Müller-Terpitz

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Released: 2006
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