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Einfluss der Aufbau- und Verbindungstechnik auf die funktionalen Eigenschaften thermomechanisch belasteter Sensoren

Authors

Sebastian Fischer

Parameters

Categories

University and college textbooks

Series: MEMS technology and engineering

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Einfluss der Aufbau- und Verbindungstechnik auf die funktionalen Eigenschaften thermomechanisch belasteter Sensoren, Sebastian Fischer

Language
Released: 2006

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