Simulation und experimentelle Erprobung parametrisch-optischer Rauheitsmessprozesse auf der Basis von kohärentem Streulicht und Speckle-Korrelationsverfahren

Dipl.-Phys. Stefan Patzelt Geboren 1966 in Oldenburg. Er studierte Physik an der Universität Oldenburg und arbeitete anschließend an der Fachhochschule Oldenburg als Lehrbeauftragter für das Fach Physik im Fachbereich Seefahrt. Als wissenschaftlicher Mitarbeiter im Fachbereich Produktionstechnik an der Universität Bremen bearbeitete er neben der Lehrtätigkeit im Fachgebiet Messtechnik mehrere Forschungsprojekte zum Thema prozessnahe und In-Prozess-Charakterisierung von Oberflächen mittels Streulicht. Streulichtbasierte Messsysteme charakterisieren Oberflächen und lokalisieren Strukturdefekte. Sie sind kompakt, robust und vergleichsweise kostengünstig. Aufgrund kurzer Messdaten-Erfassungszeiten und hoher Messdaten-Erfassungsraten besitzen sie ein großes Potenzial für den fertigungsprozessnahen (in-situ) und den In-Prozess-Einsatz. Verschiedene, auf Speckle- Korrelationsverfahren beruhende Streulicht-Messverfahren für Rauheiten und Oberflächendefekte im Nanometer- und Mikrometerbereich werden erläutert, modelliert und experimentell erprobt.