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Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
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Es wird ein neuartiges Design für ein Piezo-MEMS-Mikrophon entwickelt, dessen Membran herstellungsbedingte intrinsische Spannungen kompensiert. Die Optimierung stützt sich dabei auf ein kalibriertes elektromechanisches FEM-Modell mit einem reduzierten Satz an signifikanten Parametern, die mittels Varianzanalyse identifiziert werden. Schließlich wird ein Kirchhoffsches Netzwerkmodell für die Gehäusedämpfung erstellt, womit sich eine Mikrophonsensitivität von -40,6 dBV prognostizieren lässt.
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Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation, Teresa Reutter
- Language
- Released
- 2015
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- Title
- Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
- Language
- German
- Authors
- Teresa Reutter
- Publisher
- Shaker
- Released
- 2015
- ISBN10
- 3844034900
- ISBN13
- 9783844034905
- Category
- University and college textbooks
- Description
- Es wird ein neuartiges Design für ein Piezo-MEMS-Mikrophon entwickelt, dessen Membran herstellungsbedingte intrinsische Spannungen kompensiert. Die Optimierung stützt sich dabei auf ein kalibriertes elektromechanisches FEM-Modell mit einem reduzierten Satz an signifikanten Parametern, die mittels Varianzanalyse identifiziert werden. Schließlich wird ein Kirchhoffsches Netzwerkmodell für die Gehäusedämpfung erstellt, womit sich eine Mikrophonsensitivität von -40,6 dBV prognostizieren lässt.