Grundlagen und praktische Anwendung der Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA)

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Die moderne chemische Analytik nutzt umfassend instrumentelle physikalische Methoden, wobei die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) eine der leistungsfähigsten und einzigartigsten ist. Ihre Hauptvorteile sind die Zerstörungsfreiheit und der geringe Probenbedarf. Sie ermöglicht den Nachweis nahezu aller chemischen Elemente in festen und flüssigen Substanzen. Obwohl Röntgenstrahlen bereits 1895 entdeckt wurden, kamen brauchbare Analysengeräte erst in den 1950er Jahren auf den Markt, als die elektronische Messtechnik ausreichend entwickelt war. Die RFA etablierte sich rasch, wobei ihre hohe Präzision zunächst im Vordergrund stand. Mit der Entwicklung sorgfältig ausgearbeiteter Korrekturverfahren wurde eine nahezu gleichwertige Genauigkeit erreicht. Während anfangs die Bestimmung mittlerer und hoher Konzentrationen im Fokus stand, wurden mittlerweile leistungsfähige Verfahren zur Elementspurenanalytik entwickelt. Die RFA hat sich besonders in der Mikroelektronik bewährt, da Röntgensequenz- und Simultanspektrometer durch Mikrocomputer gesteuert werden. Die notwendige umfangreiche Datenverarbeitung erfolgt durch dedizierte Prozessrechner, was wirtschaftliche Analysen in großer Zahl bei hohen Anforderungen an die Analysenqualität ermöglicht. In der deutschsprachigen Literatur fehlt bisher eine umfassende Darstellung der Röntgenfluoreszenzanalyse, die dem aktuellen Entwicklungsstand gerecht wird.