Fertigung und Untersuchungen zur Optimierung eines linearen Mikro-Hybridschrittmotors

Im Rahmen dieser Arbeit erfolgt die Weiterentwicklung eines linearen Mikro-Hybridschrittmotors, dessen fertigungstechnische Umsetzung und die Er-probung der Motorkomponenten. Der Mikromotor besteht aus einem Ständer, einem Läufer und einer Kugelführung. Sowohl Ständer als auch Läufer sind dünnfilmtechnisch hergestellt. Der Ständer weist galvanisch abgeschiedene weichmagnetische Flussführungselemente und Spulen sowie organische Isolierschichten auf. Der Läufer besitzt ebenfalls galvanisch abgeschiedene weichmagnetische Flussführungselemente sowie mittels Kathodenzerstäubung abgeschiedene Permanentmagneten. Bei der Herstellung der Komponenten für die Kugelführung sowie die Integration der Kugelführung in den Mikroaktor kommen Verfahren der mikromechanischen Fertigungstechnik zum Einsatz. Die Arbeit beschreibt den Entwurfsprozess, den gewählten Fertigungseinsatz sowie technologische Untersuchungen zur Optimierung der Fertigungsverfahren. Ferner behandelt sie messtechnische Untersuchungen an den gefertigten Ständer- und Läuferkomponenten.